極紫外光的雷射製成電漿(LPP：Laser Produced Plasma)是美國專利，那採用別的機制產生極紫外光，不就避開美國制裁。其實專利是屬地主義，由國家主權所保護，只要美國沒在他國申請LPP生成專利，其他國家稍加變化生成機制，就能排除美國專利干擾。今日ASML只是購買美國專利而研發設備，不想走美-荷蘭這條線的國家，極可以走自己的路，開發自己的機台，同時還有其他方法如DPP法：Discharge Produced Plasma來生成光源。
@曲建仲 Thank you for your feedback. But, I still don't know how to use "browser" to get AIT token, please advise. Happy New Year, I really enjoy to see your videos. Good job.
讚嘆偉大的曲博
希望曲博可以開個vender廠商專題，介紹晶圓、封裝、測試的主力設備廠商。
譬如 曝光類ASML 、Nikon 、Cannon
薄膜類 日立、Lam、東京威力、AMAT
蝕刻類 Lam、AMAT 、東京威力
封裝檢測 Camtech 、Rudolph
晶圓切割 TSK 、 Disco
清洗 Screen
讓人民知道各製程機台強項
這個是大哉問，可以先找找表裡有些公司介紹過了！
ansforce.page.link/drjlist
我在大陆做移动电话20年了，从Ti 平台做到高通，曲博老师讲的非常专业
謝謝你，德州儀器在2G時真的是全球最大的基頻晶片供應商，後來3G做不出來才漠落了！
10:32 紫外光波長很短(波長越短解析度越高）且紫外光也有波長差異
依序由長到短：紫外光➡️深紫外光（duv)➡️極紫外光（euv)
19:54 電漿會讓電子跳來跳去 且會發光
27:25 極紫外光較成熟的技術是lpp
我本月才看见这个频道，慢慢看吧。谢谢曲博
曲博你好,想請問浸潤式曝光中,為何紫外光經由透鏡與水之間的界面反射較小，解析度可以提高呢? 原理是什麼呢? 謝謝
因為空氣的折射率是1，水的折射率是1.44，深紫外光(DUV)的波長在真空193奈米，在空氣中的等效波長是193奈米，在水中的等效波長是134奈米，光的波長減短了，所以解析度就增加了！
@@Ansforce 了解，感謝曲博，另外想知道目前主流(ASML)的DUV/EUV曝光機都是採immersion exposure的方式嗎? 謝謝
@@patricktom4347 DUV如果要做到先進製程則會使用Immersion，但是EUV不行，水會吸收EUV。
曲博您好，想再請問DUV是用什麼樣的高能量光源去照射ArF準分子來產生準分子雷射的呢？
極紫外光的雷射製成電漿(LPP：Laser Produced Plasma)是美國專利，那採用別的機制產生極紫外光，不就避開美國制裁。其實專利是屬地主義，由國家主權所保護，只要美國沒在他國申請LPP生成專利，其他國家稍加變化生成機制，就能排除美國專利干擾。今日ASML只是購買美國專利而研發設備，不想走美-荷蘭這條線的國家，極可以走自己的路，開發自己的機台，同時還有其他方法如DPP法：Discharge Produced Plasma來生成光源。
我有個很低階的問題想請教，光阻的製作要在石英上鍍上一層鉻，然後再塗光阻劑，電子束.......那為何不直接用光阻劑取代鉻金屬就好了呢？傻問題希望不吝賜教
不能直接用光阻劑取代鉻金屬，因為鉻金屬是要用來反射紫外光的，光阻劑不會反射紫外光，或是反射效果不好。
贊，曲先生。
謝謝曲博
請問整個EUV系統大概哪一個系統是最難做出來的？另外光學系統的部分，這些透鏡很昂貴嗎？有這幾個透鏡在機台裡面呢？這些透鏡是屬於耗材嗎？
EUV主要有三個部分，一個是產生EUV的光源，第二個是照明光學系統(Illumination optics)，第三個是投影光學系統(Projection optics)，因為波長13nm的極紫外光幾乎無法穿透任何東西，連空氣都不行，所以整個系統都在真空裡面，那些反射鏡不是透鏡，而是在材料表面利用矽和鉬的多層干涉薄膜來反射EUV，而EUV會傷害這些薄膜因此是消耗品，另外雷射源也是耗材。
反射鏡都是耗材沒錯，蔡司製造的。
謝謝你提醒。
您好~請教光罩(2338) vs 家登(3680) 這兩者都是光罩 有什麼不一樣嗎??似乎家登EUV用於先進製程嗎??
光罩(2338)是做光罩的公司，家登(3680)是做光罩盒，光罩盒只是放光罩的盒子，就好像一家做手機，一家做手機保護套，家登(3680)的光罩盒有DUV和EUV，那就是個盒子，不過DUV的盒也其實也不好做就是了！
@@Ansforce 請教光罩 和家登 就不是競爭對手了嗎???也不知道光罩和光罩盒 哪一種技術比較高???不知道有沒有示意圖可以看?這樣比較好理解~謝謝您!!
請問曲博，大陸國產刻蝕機利用(SAQP) self aligned quadruple patterning已經能刻出7奈米節點， 為什麼中芯還要買ASML 的DUV? 刻蝕機跟光刻機的優劣為何?
SAQP是重複相同的蝕刻四次達到縮小的目的．必須光刻機和蝕刻機配合．光刻機是把光罩上的圖形轉移到晶圓上．蝕刻機是在晶圓上產生實際的結構．所以兩個設備都要．蝕刻機相對是比光刻機簡單一點的設備。
謝謝曲博解釋．是否可以類比PC板製程中．光刻機等於影像轉移工具中的曝光機．蝕刻機等於蝕刻過程中用的銅蝕槽? 此外． PC板製程中的蝕刻(etch)一詞專指去銅．其他各種材料的清除都叫剝離(strip)。蝕刻機是否也只能清除固定種類的材料?
聽下來，有點類似燒錄機的縮小複雜版！
請問 : 13.5 nm EUV 已屬不可見光範圍? 不可見光可以透過石英光罩縮小至10:1 ?
深紫外線可以穿透石英但是不能穿透玻璃．極紫外線連石英都不能穿透所以只能用反射式光罩。
手機驗證後沒有立即拿到知識幣是正常的嗎?
有讀有推、謝謝博士。
三星也把EUV用在Dram, hynix和micron有这机器竞争吗? 还是他们也会跟asmr买? 进度上，应该是美光领先，会不会因为euv被反超?
目前EUV只有ASML一定供應商，當然都要和ASML買。
@@Ansforce 太棒了，老师竟然亲自回答。希望老师可以开讲关于DRAM寡头间进度的情况。
這是個不錯的題目，我來安排一下看能不能在那一週的科技導讀開講。
請問 微影技術假如直接用波長更短的X光， 在微影設備的製造上， 以及晶圓上IC電路的製造上， 各有什麼困難?
X光直接從光阻分子中間穿過去還怎麼曝光啊，加上無法折射反射，沒辦法控制X光方向啊
I t won't work for the coin application through my mobile phone. I am in the US. Please help, thanks.
@曲建仲 Thank you for your reply. But, I still don't know how to use "browser" to get AIT token. Please advise. Thank you and happy Chinese New Year.
@曲建仲 Thank you for your feedback. But, I still don't know how to use "browser" to get AIT token, please advise. Happy New Year, I really enjoy to see your videos. Good job.
Please send me an email to service@ansforce.com. Thanks and sorry for the delay.
1:55 今天來談EUV.... 6:51...
電漿簡單的物體就是螢光燈管，是嗎？
專業!
謝謝分享
請問曲博難到不行用雷射來達成嗎
DUV和EUV用的都是雷射呀！所謂的雷射也是一種光，只是波長範圍比較小能量集中的光束稱為雷射。
11：40有提到雷射部分~
很棒,很讚
這畫質為什麼只有360p呀
這個是從Facebook轉過來的影片，所以畫質比較差敬請見諒囉！
讚👍
光罩都是用6025的4x 的板子
謝謝你提供的資訊。
真空的折射率是多少
真空的折射率和空氣差不多都是1。
X-ray 波長更短，為何不用 X-Ray？
目前因該沒有材質能承受x光持續放射吧~
我找到原因嘞www.nsrrc.org.tw/chinese/lightsource.aspx
如果要x光作為輻射源，你需要建立跟這個一樣的加速器
另一個問題，原子寬度0.7奈米 3奈米在下去 就剩下4顆原子並排寬度減半在減半，就算真的做出來能不能用都是未知數。
換x光做整套供頁系統得全換，作業員安全問題，製成全部重來，看起來幾乎沒有可以借用的。
最後市場沒有賣，對台積電來說，生產才是看家本領，機台技術開發不是，有然研發出來賣機台它會第一時間買來用的。
以上淺見
ASML做得出來賣自然有人花錢買
@曲建仲 老師您說的才是對的，我只是個門外漢，看老師的留言立判高下，我只是興趣愛好胡亂查資料東拼西湊而以~~~還是您說的清楚
中芯國際的人會不會上來看？
業內的人來說基本上這都是基本常識了，等等...中芯可能真的不知道...
世界上有東西是直接將電能變為光的發光物質……（如果抓到直出EUV 的物質就……）
看懂是一回事，做不出來是一回事，比方說錫滴產生器每秒鐘要超過兩萬滴才有量產的可能，而且少滴多滴一點都不行
好貴 哭噴
搞了半天是。。推广网站， 台湾才多少网民， 能回本吗。
明眼人都知道是在傳遞知識還是在打網站廣告，up主講的這些內容在外面都是一堂課幾千塊的內容
@曲建仲 1.首先, 你要有商业收费模式. 2.在抖音, 微信, 微博都可以成大 v. 3.要收费, 谁是你的客群? 想好, 其他的, 就容易.
。。。
科技有一天會全部癱瘓的。