석사따리가 보여주는 메인챔버의 구조

[@SG-math]

반도체 공정과 장비 이해하는데
매우 도움이 되었습니다.
감사합니다!^^

[@최준규-e5t]

실제 장비를 보여주시다니.... 엄청 도움이 됐습니다. 감사합니다.

[@gkgk021]

시험원으로 일하고있는데 혹시 어디 대학원으로사신거에요??챔버에대해서 더 배우고싶은사람입니다ㅜㅠ

[@문태석-c7j]

쉽게 설명해주셔서 감사합니다
초짜가 이해기 편한 영상이네요~^^

[@leebs4224]

실제 공정에서 챔버가 나뉘어진 이유가 무엇인가요? 같은 챔버 내에서도 uv값, 이용하는 가스 등이 웨이퍼마다 다 다르던데요.... 그리고 영상을 매우 흥미롭게 보았습니다,,

[@operator1007]

학교 설비라 모든게 다 간단해 보이네요

[@ywk7282]

좋은영상 감사합니다!!
저 진공 펌프는 고진공 펌프 인가요?? 혹시 어떤 종류의 펌프인지 여쭈어봐도 될까요?

[@지루한지찬]

Precursor와 반응하면 안되기때문에 건식 펌프입니다! 고진공...기준에 따라 다른데 UHV처럼 완전 고진공은 아니고 그 아래단계수준의 고진공입니다.