[기초반도체공정|4.1]

etching 의 성능을 평가할 때 주로 사용하는 용어들의 정의와 의미에 대해 알아봅니다.

[@김주영-d7s]

좋은 강의 감사합니다!! 😊😊😊

[@김성준-i5m]

다음 강의는 언제쯤 올라올까요ㅠ

[@DevicePhysics]

일이 많아져서 영상을 만들 여유가 없습니다. 한동안은 어려울것 같습니다.

[@야옹쓰-c2h]

안녕하십니까, 교수님. Etch 시 profile에 대해 궁금한 점이 생겨 질문드립니다.
흔히 말하는 Footing이라 함은, Notching 현상을 포함하는 개념인가요? Footing-Notching-(dove tailing)간 Etch profile의 차이가 사실상 없는 것 같아 헷갈립니다 ㅠㅠ

[@DevicePhysics]

저는 공정전문은 아니라 직접 이런 현상들을 본적이 없는데, 아무튼 제가 배운바로는,
1. Footing effect 때문에 얻어진 결과물이 notching 입니다. 즉, 두 용어는 동일한 의미 입니다.
2. dovetail 은 notching 과는 프로파일이 완전히 다릅니다. 논문들 몇개만 검색해보면 쉽게 프로파일을 찾을 수 있습니다.

[@야옹쓰-c2h]

답변 감사드립니다!!

[@이하-r6d]

좋은 강의 감사합니다! 240524