半導體晶片戰爭,日本參戰啦!!!快速了解日版極紫外光機(EUV)怎麼做 ? | 這個竟然有論文 ep.1

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  • Опубликовано: 28 дек 2024

Комментарии • 131

  • @anti-team
    @anti-team  Месяц назад +9

    【勘誤資訊】影片資料在04:55處有誤植了『聚焦鏡組』,並且影響造成口誤, 但其實應該是匯聚焦點 (IF - intermedina foucs)的意思。 這邊造成大家困擾誤解,真的非常不好意思。在這邊致歉一下喔,謝謝各位, 祝各位假日愉快

  • @youronglin1789
    @youronglin1789 Месяц назад +7

    日本我相信化工實力很強 這個就算了 之前說要蓋太空電梯 又說要怎樣怎樣的 都沒有實際行動 不像馬斯克。與其討論耗能問題不如早點研發出新的發電方式

  • @SyuAsyou
    @SyuAsyou Месяц назад +7

    影片和留言都很精彩👍👍

  • @rangeo1492
    @rangeo1492 Месяц назад +26

    ASML那些反射鏡 有一部份是在修正像差
    沖繩這個新竹完全沒考慮反射鏡也會有像差要修正
    這修正下去哪裡還會是四片,現階段加工方式沒辦法作到完美的反射鏡
    (即便是DUV也沒辦法製作完美的透鏡 沒辦法作到用一片就夠了)
    要保證reticle上面的圖形都能正確曝光,在現有誤差下只能漸漸聚焦光束
    這篇論文更像是叫人去研究mata surface來做完美反射鏡

    • @張文賓-q6j
      @張文賓-q6j Месяц назад +1

      如果meta surface商用化,或許真能解決喔

    • @hong-chihchen1764
      @hong-chihchen1764 Месяц назад +6

      @@rangeo1492 光學原理看似簡單,實際要做出和光罩一樣的圖案,實際需要很多工程技術搭配,例如相位移光罩、光學進階補償OPC及蝕刻後的成形都和黃光製程有很大的關聯性,光能是一種高斯分布的,存在繞射和邊緣疊加的特性,都會影響光祖吸收能量

    • @mts90080lee
      @mts90080lee Месяц назад +1

      減少反射鏡會不會降低雕刻的精度和準確性,有待考察

    • @rangeo1492
      @rangeo1492 Месяц назад +6

      @@張文賓-q6j 不過mata surface的原理
      基本上是表面上做小天線 (pattern的形狀大小都要隨著波長變短跟著變小)
      由於EUV光的波長太短了,這小天線100%也要用EUV來做
      大多數人沒那個環境可以評估EUV下的mata surface 反射率是否可以增加
      如果單層不行 那雙層 三層呢? 或許最後會演變到複合層數的meta surface架構
      (目前頂多只有人去做單層meta surface 而且對應的還是遠紅外線)
      軟體上也沒有人在寫,即便寫好 這設計恐怕也是AI才能產出
      只要一個完美的平面,上面長mata surface之後就可以生產完美的反射鏡
      這成功的誘因很大,但這門檻太高 沒有比EUV光源簡單

  • @johnchen6783
    @johnchen6783 Месяц назад +40

    日本廠商配合度太差,不願意跟著台積的需求去改善研發機台,才淪為這地步,
    現在要跨是吧?
    先給一台free tool,裝機上億經費也自己出,
    使用的資源水汽電、化學品、控片都自己出錢,一個月可能要數千萬,一年就是數億,
    還要配合台積各種超越極限的改善要求,妥善率,產出速度,連結各種台積的生管系統,
    最後失敗再要你自己負責搬走,
    有了初步可行data後,
    再來一個產品一個產品來跨,求客戶同意跨,客戶沒事幹嘛同意換這麼重要的製程?
    Cost低,那要降價嗎?那良率呢?電性有comparable ?
    這根本是一條漫漫長路啊,沒個3年搞不定的,
    最後搞定了,也可能只是淪為被用來跟ASML殺價的工具,
    畢竟人家ASML也不傻,人家也會降價、改良機台來跟你競爭啊😂😂

    • @hong-chihchen1764
      @hong-chihchen1764 Месяц назад

      未來會有很多技術取代EUV,ASML前幾年也是很秋,他之前的浸潤式技術是和台積(林本堅)一起研發出來的,商人本應無國界,但現在中美晶片制裁,ASML的市場少掉將近40%,今年財報比預估值少掉一半,ASML也緊張了,以這種方式,再過個2~3年我相信ASML也要思考裁員瘦身計畫了~

    • @TWALBEVA
      @TWALBEVA Месяц назад +3

      @@hong-chihchen1764 取代EUV? 這是很基本物理的東西,要如何取代? 除非你不用"曝光技術".....這問題已經是2050之後 (或許2070)的討論了

    • @hong-chihchen1764
      @hong-chihchen1764 Месяц назад

      @@TWALBEVANIL奈米壓印技術有聽過嗎?

    • @hong-chihchen1764
      @hong-chihchen1764 Месяц назад +1

      @@TWALBEVA 抱歉我應該要說替代EUV,而非取代,謝謝指正

    • @hallyshen
      @hallyshen Месяц назад +2

      3年可能太樂觀,日商習慣圈地自己玩,自己訂標準,自己賺授權,機關算盡所以最後落得如此下場,我覺得不會成功,
      答案幾年後便可知曉~

  • @brainwashkenny1
    @brainwashkenny1 Месяц назад +9

    ASML的EUV,並不是開發出來之後就開始熱賣。而且和台積電配合進行試產、除錯。為了ASML的EUV,台積電報廢了無數的晶圓,才搞定了EUV上的各種問題。日本人做的EUV,能不能找到願意配合除錯的廠商才是最大的問題。台積電自己也是ASML的股東,會不會有興趣配合日廠進行相關的試產與除錯,要打上一個大問題。而剩下的三星、Intel有沒有財力或意願去配合也是問題。剩下的選項大概只有日本人自己搞的Rapidus。

  • @michaellin5068
    @michaellin5068 17 дней назад +1

    當初有跟台積高層討論能否使用超導全反射鏡,EUV本身就是真空系統,使用低溫超導其實是可行的。但是後來EUV連設備工程師都是ASML派遣的,台積這邊就不用管了~~

  • @x52540
    @x52540 Месяц назад +2

    主要是機台是由各國頂尖工業合併再一起開發出來的!並不是一個國家就把所有技術都克服!

  • @mts90080lee
    @mts90080lee Месяц назад +3

    希望日本能研發出高精度EUV跟ASML做削價競爭,機台就不用這麼貴了

  • @maxchien244
    @maxchien244 Месяц назад +5

    我只能說實際實驗不可能跟模擬出來的一樣,但至少很好的說明是模擬的,比室溫超導體事件有誠信多了

    • @AMATISIG
      @AMATISIG Месяц назад +2

      模擬通常是用來分析問題瓶頸的。
      因為問題已經複雜到人腦無法一次性的理解,必須將之圖形化與利用公式等工具說明。
      這也方便與光學設計&製造討論。

  • @Sun-lf5hn
    @Sun-lf5hn Месяц назад +2

    用多少反射鏡必須跟蔡司買鏡片

  • @chienjack2949
    @chienjack2949 Месяц назад +2

    我只問一句:賣給誰了,良率跟利潤率是多少 ? 日本私人公司應該玩不起,如果讓政府參股投資,不知是否會被直接吃掉,而公務員的辦事效率......摺疊螢幕、軟基板、光傳輸,也不是甚麼新鮮名詞,但離商品化、量產...還有很遠的路。目前只能說看見曙光,離打敗ASML還很遠。

  • @strasbourgchung4928
    @strasbourgchung4928 Месяц назад +9

    問題是聚焦鏡組是用什麼材質?畢竟euv是13.5nm波長,目前世上大多才直接會吸收,所以asml才會使用反射是光罩。

    • @anti-team
      @anti-team  Месяц назад +1

      真抱歉,那邊我製作素材時誤植所以造成口誤,那裡應該是光線匯聚焦點的意思(IF - intermedina foucs)。造成大家困擾了 真不好意思阿。我會統一勘誤一下,真是抱歉 >"< 也謝謝您提醒喔~

  • @joehuang9933
    @joehuang9933 Месяц назад +15

    老實講就算只有少一片也是非常大的提升

    • @anti-team
      @anti-team  Месяц назад +2

      這倒是沒錯~觀念超正確~~~哈哈

    • @AlertImDK
      @AlertImDK Месяц назад +5

      @@anti-team 別傻了,機台能耗與良率自然會偏重在良率,否則良率下降,成本反而飆高😂。減少反射鏡數量會導致光束的偏移和失焦,從而影響製造過程的準確性和產品的品質。ASML肯定有實際研究過,不斷增加反射鏡片數與良率提高的關聯性,一直增加到提升良率到不明顯,沒意義。換言之,這篇日本研究根本是毫無實際意義😅

    • @tangtienji
      @tangtienji Месяц назад

      哇!那每一片成本都上億台幣吧。

    • @海森威
      @海森威 Месяц назад +1

      @@tangtienji 其實光刻機這麼貴不是他造價貴,是他開發費用貴.........開發費用攤提在光科機裡面造就了天價光刻機

    • @tangtienji
      @tangtienji Месяц назад

      @@海森威 成本本來就是人在貴啊,天下事的物質都是免費的。尤其是晶片,全是人值錢。

  • @woodho7077
    @woodho7077 Месяц назад +2

    這個想法很不錯,類似採用雷射共振腔的概念,但是實用性,還是需要驗證。
    ASML 的設計,簡單暴力,採用 平面鏡。他的光路上(像差),可以做很多修正工作。
    而新的設計方式,在光學鏡面的精度上,要求應該會更嚴格。
    Anyway,直上機台就知道了。👍

  • @changszuchin856
    @changszuchin856 Месяц назад +4

    布拉格反射鏡只適合X光

  • @黃寶童
    @黃寶童 Месяц назад +3

    成熟製程不是也有黃光嗎????

    • @rogerliu6471
      @rogerliu6471 Месяц назад +5

      黃光是因為微縮影像曝光作業區用黃光做環境照明,所以業界會用黃光(黃光區),作為微影相關作業的代稱,畢竟曝光只是其中的一個環節!

  • @AMATISIG
    @AMATISIG Месяц назад +2

    他這個很像卡賽格林式的天文望遠鏡欸。
    等下...布拉格廣場可以不要亂入嗎?

  • @Yuanmaolin
    @Yuanmaolin Месяц назад +2

    播放速度* 1.25 👍

  • @milk29335930
    @milk29335930 Месяц назад

    這個挖洞的技術方式好像之前就有,但是有些缺點.... 可以去查相關的論文XD

  • @李凱文-g3m
    @李凱文-g3m Месяц назад +1

    良率 良率良率

  • @imi831043
    @imi831043 Месяц назад +1

    基本上的問題就是
    啥時量產??
    量產平均良率多少??
    單價多少??
    有多少大廠已經用過了??

  • @SF-zy7pl
    @SF-zy7pl Месяц назад +2

    都說是新竹教授了,肯定是台積電的工程師

  • @涂宏燦
    @涂宏燦 Месяц назад +4

    看你的影片學習實在是太方便

  • @kaychien1806
    @kaychien1806 Месяц назад

    我比較好奇大家的留言

  • @jamehuang8901
    @jamehuang8901 Месяц назад

    事實上很多人都沒有想過或根本不知道。台積電當初投資光罩也就是非主流現在的艾斯莫爾,那時候卡的bug是什麼。然後那個bug解決了就趕著上原模板再來實驗成功。
    所以所謂的實用性是因為沒有效能極簡化,而直接取原實驗數據拷貝複製貼上的鏡片。
    也就是說知道內情的人會很看好這個還未確認實用性如何的鏡片組,因為這步只是艾斯莫爾的下一步。
    而這研究這東西說穿了沒底本的爛賭鬼贏了就賺了

  • @蔡晉源
    @蔡晉源 Месяц назад +3

    我還是比較期待奈米壓印技術能突破。要是能成功可減少能源消耗效率更好成本更低這才是人類之福。但可能ASML與台積電,輝達可能就不妙了因為一下子門檻降低營收獲利也會跟著崩。

    • @hong-chihchen1764
      @hong-chihchen1764 Месяц назад +1

      奈米壓印已經能做到2nm的製程,但實際應用最大的問題是疊對精準度

    • @kingworld7747
      @kingworld7747 Месяц назад +2

      @@hong-chihchen1764 你要怎麼做出2奈米的模子不也是相當大的問題?!只有聽過用2奈米的模子印出來,卻沒有講如何做出這兩奈米的模子,可笑不!!日本人的話聽聽就好,等實用後再講,如只是嘴砲階段,連參考的價值都沒有!!

    • @az9988-p9k
      @az9988-p9k Месяц назад

      @@kingworld7747 是能做出2nm的製程不是做出2nm的模子 目前的問題是多重曝光的對準還不可靠

    • @leolee-d1h
      @leolee-d1h Месяц назад

      @@kingworld7747 用電子束刻印,再小也可以,就是電子束刻印太慢不如投映,差距有如手抄和影印,才沒人用電子束生產。如果一個印模可以用數萬次,那電子束慢也可以接受了。

  • @camkx
    @camkx Месяц назад +1

    Bragg mirror is the best

  • @TWALBEVA
    @TWALBEVA Месяц назад

    請教是否有機會介紹半導體如何一層一層精準疊合的技術,以及未來可能的發展? (有可能堆疊精度到5A嗎)

  • @JonnieJiang
    @JonnieJiang Месяц назад +1

    一看到有"聚焦鏡組"就知道這個設計是失敗之作,因為顯然沒有考慮到"聚焦鏡組"散熱及像差導致光刻偏離等問題,所以這個設計極有可能沒辦法高效的"量產"晶片,頂多只是在實驗室裡的自High之作,在我看來就只是想騙科研經費或是自我吹噓而已。

  • @海森威
    @海森威 Месяц назад

    我下一個結論.....論文而已..........但無法利用,因為是節能~問題沒有效能 , 人家要做2nm 你要做20nm嗎?

  • @江建文-o6s
    @江建文-o6s Месяц назад

    就算做出來少了中國市場也沒用,台積只用ASML的。

  • @療癒靈魂
    @療癒靈魂 Месяц назад +1

    研究到商業用😂😂😂😂笑死 跟英特爾研究室一樣 可製造1奈米晶片 但是無法量產 有屁用研究

  • @toyandytw1758
    @toyandytw1758 Месяц назад +1

    鏡片,我只信德國蔡司,日本的鏡片還不夠做EUV

    • @zohar6006
      @zohar6006 Месяц назад

      跟蔡司採購就好
      日本提出的理論不代表成品都是日本零件

  • @douyalee2993
    @douyalee2993 Месяц назад +2

    小孩子才做模擬,大人都看根據你模型下做出來的實際成果做判斷。

    • @AlertImDK
      @AlertImDK Месяц назад

      非也,這個研究從一開始就是沒意義,根本是不懂半導體製程的人才會做的研究:別傻了,機台能耗與良率自然會偏重在良率,否則良率下降,成本反而飆高😂。減少反射鏡數量會導致光束的偏移和失焦,從而影響製造過程的準確性和產品的品質。ASML肯定有實際研究過,不斷增加反射鏡片數與良率提高的關聯性,一直增加到提升良率到不明顯,沒意義。換言之,這篇日本研究根本是毫無實際意義😅

    • @hgush
      @hgush Месяц назад

      沒有模擬哪來的模型

    • @IN9599
      @IN9599 Месяц назад

      連模擬都不做直接做模型阿😄.....

    • @hgush
      @hgush Месяц назад

      @@IN9599 精密光學都是在逼近物理極限 那運算量不是人能做的 舉個我們常做的工作:十萬條光線經過系統後分別落到哪

  • @AlertImDK
    @AlertImDK Месяц назад +45

    這個研究從一開始就是沒意義,根本是不懂半導體製程的人才會做的研究:別傻了,機台能耗與良率自然會偏重在良率,否則良率下降,成本反而飆高😂。減少反射鏡數量會導致光束的偏移和失焦,從而影響製造過程的準確性和產品的品質。ASML肯定有實際研究過,不斷增加反射鏡片數與良率提高的關聯性,一直增加到提升良率到不明顯,沒意義。換言之,這篇日本研究根本是毫無實際意義😅

    • @hong-chihchen1764
      @hong-chihchen1764 Месяц назад +9

      艾斯摩爾要開始思考裁員瘦身計畫了~因為EUV賣不動了,另外你覺得製程良率和ASML設備有上相關? 你確定良率和設計、製程流程與製程參數無關? 那ASML賣給三星、INTEL與台積的差異在哪裡? 別說你懂製程,懂製程的,就知道我說的差異在哪

    • @joehuang9933
      @joehuang9933 Месяц назад +9

      如果日本人真的搞出一個新的反射鏡材料就很難講了,別小看日本的化工實力

    • @包子扛大麥
      @包子扛大麥 Месяц назад

      @@hong-chihchen1764問了一堆問題都是屁

    • @hgush
      @hgush Месяц назад +2

      ​@@hong-chihchen1764跟半導體製成良率當然沒相關 畢竟出場就是要符合規格 但跟設備製造的良率相關

    • @橋-g2j
      @橋-g2j Месяц назад +2

      ​@@hong-chihchen1764可以簡單介紹一下嗎,我想聽差別,還有為什麼你會懂這些

  • @millsonliu
    @millsonliu Месяц назад +2

    這樣才對嘛!台積電靠自己的實力擁有的市占率被美國稱反托拉斯,
    ASML全球僅一家獨大沒有競爭對手,美國就不吭一聲.
    有競爭才有進步.價格才會下降.ASML太貴了.

    • @forcelethal5691
      @forcelethal5691 Месяц назад

      這樣真的對嗎?日企是真的和ASML競爭嗎?我看是ASML被美國坑了吧?這個圈子裡,日企、ASML 都可能是輸家,只有美國是贏家,台積電?沒它的什麼事。

  • @camkx
    @camkx Месяц назад +1

    吹的比較多

  • @zaritadeng7238
    @zaritadeng7238 Месяц назад +1

    就是不參考我的標題誒

    • @anti-team
      @anti-team  Месяц назад

      因為那個是後續有趣主題的殺手鐧鴨~:D

  • @kiukiu7924
    @kiukiu7924 Месяц назад +1

    模擬模擬啦。 廢話了。

  • @大老二爹地
    @大老二爹地 Месяц назад

    这也仅仅只是反射镜组的部分,这一部分是蔡司在做。asml只是买来用而已。

  • @hong-chihchen1764
    @hong-chihchen1764 Месяц назад +5

    我認為台積電技術真的很厲害,但未來幾年,台積電如果持續在台灣建廠,則會用掉全台8%的電力,我覺得台積技術根留台灣,但建廠擴廠可以去其他像是日本、東南亞等國家,這樣台灣就不用煩惱缺備載電力的問題~也不會漲電價了

    • @g731a
      @g731a Месяц назад

      去洗洗睡吧你

  • @cao55555555
    @cao55555555 Месяц назад +1

    不有趣

  • @liankuan2003
    @liankuan2003 Месяц назад

    論文?模擬? 連個影子都沒有,竟還有人正經八百的把它當回事在發影片. 不會太搞笑嗎?

  • @1ozhUbQ
    @1ozhUbQ Месяц назад +1

    留言一堆人在嘲笑研究新方法的學者,足見台灣人智商之高
    難怪我們能有台積電 美國沒有,只能搞那個甚麼james webb

  • @YuanliChiang
    @YuanliChiang Месяц назад +3

    論文一堆,那幾個做出量產產品了??

    • @anti-team
      @anti-team  Месяц назад

      沒錯,所以要真的做得出來才是真的

    • @AlertImDK
      @AlertImDK Месяц назад +1

      非也,這個研究從一開始就是沒意義,根本是不懂半導體製程的人才會做的研究:別傻了,機台能耗與良率自然會偏重在良率,否則良率下降,成本反而飆高😂。減少反射鏡數量會導致光束的偏移和失焦,從而影響製造過程的準確性和產品的品質。ASML肯定有實際研究過,不斷增加反射鏡片數與良率提高的關聯性,一直增加到提升良率到不明顯,沒意義。換言之,這篇日本研究根本是毫無實際意義😅

  • @6ya6tr27k
    @6ya6tr27k Месяц назад

    聽不懂,但本人比較想知道的事,歐系與日系這兩台光刻機若在同樣規格,同樣條件的情況下,哪一個能快速、零污染、高精度完成晶片?

  • @holiyt
    @holiyt Месяц назад +5

    這個講話的節奏,聽起來快斷氣了😂

  • @暗黑的破壞神
    @暗黑的破壞神 Месяц назад +5

    沖繩理工這個模擬 是不懂半導體製程的人搞得吧

  • @kingworld7747
    @kingworld7747 Месяц назад +1

    日本人的話聽聽就好,等實用後再講,如只是嘴砲階段,連參考的價值都沒有!!四片鏡子?!如照相機用一片透鏡也可做出來,但好的相機為何要10幾個透鏡?!消除色像差唄,一個嚴重色像差的光源連狗都嫌,還能用嗎?!別外,色像差是類比的也就是連嬻的,而不是數位的一塊一塊的,你不能說我可利用色像差來一次性處理幾個幾個光罩區塊!!