2奈米以下要靠它？秒懂最強薄膜技術ALD原子層沉積！用超薄材料造出最小電晶體 ft. ASM
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- Опубликовано: 22 дек 2024
- 我們都知道光刻技術影響先進製程的發展，但你知道其實薄膜製程也在其中扮演重要角色嗎？其中原子層沉積（ALD）更是重中之重！
ALD顧名思義，一次只沉積一層原子的厚度。比起傳統的薄膜製程，ALD在薄膜的均勻度、厚度控制和階梯覆蓋率上都更勝一籌，是元件越做越小的的半導體產業中不可或缺的技術。
而ALD這個領域的霸主，就是擁有超過50年歷史的荷蘭半導體設備商ASM！ASM不僅深耕ALD研發20餘年，現在更是在市場有超過55%的市佔率！
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※本集節目由 ASM 委託，泛科學企劃執行※
// 延伸閱讀 //
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揭密突破製程極限的關鍵技術-原子層沉積
pansci.asia/ar...
喜歡這種知識流進我腦袋又馬上流出去的感覺😂
似乎长了1纳米的脑子！！
我就不一样，知识围绕着我的脑子流淌过去，丝毫没有留下
😂😂
是在洗腦袋還是在洗耳朵
頭好痛，感覺腦袋要長出來了.jpg
大學常常操作CVD，加上之前去中研院參觀有看過分子束磊晶設備，加上學習過電子學，對這影片很有共鳴，也學習到ALD的新知識！
說蓋房子是比較正確，是一層一層的蓋上去；但不一定有那麼多人看過蓋房子的步驟
但若說成是玩俄羅斯方塊 也許比較容易理解，應該比較有形象出現在腦海，畢竟玩遊戲的人比較多。
一塊一塊不同材質不同大小長度的方塊，組合成需要的電晶體結構跟線路。也是逐層往上蓋 只是比較不同的 現實的晶片都是得單一層單一層的堆疊。
不會有一次性多層的堆疊 也不會消失~~
因為業內的人一直都說蓋房子
@@marlindwang2989 是比較像蓋房子呀 我前面也說了
但有多少人知道或看過房子怎麼蓋的嗎
所以我才用另一個大家比較有接觸的遊戲來說明
希望讓大家比較能在腦海中具象出來樣子
但我也有說 他是相對來說比較不符合的
^^~
蓋完房子後 其實還要做橢偏移量測
最常見的就是中心厚外圈薄
這邊再說下去基本ˋ上沒人聽得懂了 哈哈
兩種說法 ， 業界 學界 都有用過 ， 用 樂高 比喻 也 無妨
現代的年青人有玩過俄羅斯方塊的也不太多了。
我也是專攻光學薄膜這個領域。
影片裡講得很清楚，蠻好的👍
不是專科一定不懂，但是讚嘆科技的日新月異
有看沒有懂
但知道這很厲害
真的太深奧了…雖然聽不懂，但知道很厲害的樣子..😂😂
簡單來說原本我們肉眼可以看到的電子產品上面的電線、電容、電感、電阻等等電子材料，組裝成一個需要空間較大的一個3C產品(比如說電腦)，後來用這些技術在極小的空間裡面，變成無法用肉眼可見，而需要靠電子顯微鏡才看的到的大小，實現同樣的事情。
@@whoami50313 積體電路的意思我懂，可是知識長說的部份專業的內容，我們外行人就聽不懂了，只覺的很厲害而已🤣🤣🤣🤣
的確是很復雜的工程,說白了.就是把每項工程.不斷的累加在你的產品上,而越小的產品越複雜,加上去的工程也越多,而且還都不能有錯,才能生產出良品,這考驗一個國家的人員素質態度,跟對操作科技產品的熟悉度
感謝你把複雜行業知識講這麼淺顯易懂
哈哈~
居然碰上跟我有關的題目了
之前在 ALD 設備商幹過幾年工程師
影片中的一切如此熟悉
真是奇妙的感覺
但是到現在才報導 ALD 相關的題目是不是有點晚了
這玩意在 LED 業界的應用至少有五年以上了
不會啦，對我們這些大外行而言，你說用滷汁刷一刷再烤是最新技術，我們都會信😂
LED不是很大顆嗎？
我20年前在做ALD設備商，只能說這種技術很早很早以前就有了只是面板廠買不起！不只ALD...一大堆都是這樣！
同行哦，台湾有什么公司呢？😊
@@特務羊毛 ALD半導體廠用很久了，比如各金屬填洞，STI等等，這影片應該只是推銷二維材料用的機台吧
讚ㄟ
以前看過幾次文章都沒理解
現在影片看得懂
在薄膜製程中，大致可分為物理和化學兩大工藝
物理：蒸鍍、濺鍍、離子鍍、物理氣相沈積、脈衝鐳射沈積、分子束磊晶等方式
化學：化學氣相沈積(CVD)、化學液相沈積等方式。
以上方式中化學氣相沈積(CVD)尤為常見。
原理和CVD类似，但较不容易成化学键，膜组分与衬底接触不牢固
講解得很好很清楚
你不懂裝懂
@@張士林-w3q 幹嘛裝懂
這有一半以上在固態工程就上過的東西
電機大二和大三就教過了
雖然我看不懂，但我大受震撼
看不懂就對了，要是每個人都看懂，那中國也不至於舉國之力都造不出來😂
看不懂就對了，要是每個人都看懂，那中國也不至於舉國之力都造不出來😂
就你懂，你们全家都懂，连自己老祖宗都不知道是谁，天天给阿美打工，脸都不要了😂@@kurokawa327
@@kurokawa327过几年把你收了，看你怎么叽歪
如果可以在質子交換膜上只有一原子厚的鉑催化劑，燃料電池普及會更快。
在大學的時候有提過一種以PVD在大學的時候有提過一種以PVD 物理氣象層積為基礎，將不同材料分層堆疊上百億層就像堆積木最終堆出一把刀鋒只有單原子的手術刀!
因為不同材料的原子有不同的特性如果掌控的好，有沒有可能在晶格界層面改變結晶特性!
進而改變金屬原有的物理特性?
但實驗實在太貴了因此想法後來就被流放了!
以前是thin film
接觸的是CVD&PVD
沉積確實無法百分百均勻
尤其是有pattern 後
那時後是微米線寬
現在ALD真的是很棒😊
希望可以作用在線材上面
讓線材傳導率上升、體積縮小
還可以在不容易損壞的材質上鍍膜
光纖很容易受損…
如果可以的話，就能在大型機械上用更複雜的技術
或是像重裝武器裡說的洋蔥式裝甲？
ALD長法覆蓋度非常好，可是慢跟成本相對高是軟肋，不過進入埃米階段之後也沒得選了，CVD已經無法滿足high aspect ratio 需要的step coverage 需求，感謝科普
沒關係，成本轉嫁到消費端就好了
趕快點頭，不然別人以為我看不懂。我以前讀的是生物領域，其實真的看不太懂，只覺得很厲害，期待之後的手機會越來越厲害
你得希望的是研發廠商，這個是製造技術，舉個例子，同製程下，安卓手機的芯片跟蘋果手機的就是有差距，不過製程進步確實能有效解決發熱問題而增加性能
在皮膚上鍍膜感覺超讚的
我知道有散熱問題
但我就是很懶得做防曬
能做出良率高又如此精密，這國家的高端人才真令人敬佩。
感覺越接近縮小的物理極限，逼發出人類天馬行空的想像力😂
这一个小小的晶片堪称是全人类尖端技术的集合体
當初研究室有剪過石墨烯,所以ALD技術已經將二維材料無法生長在晶格常數差異太大的問題解決了嗎?
真的說的深入淺出, 很厲害
謝謝鼓勵
🎉厲害 趕快來推🎉❤
對材料科系的學生很有幫助❤
老師 可以做一部大乘妙法蓮華經的講解嗎?
想聽蝕刻製成🙋🏻
太複雜了
搞出鯊魚皮為結構的鍍膜，讓船隻、自來水管路不容易滋生細菌或有生物寄生
感謝台灣做出全世界國家
獨一無二
最好的晶片❤
(G"~"G)用聲子震盪沉積可單一原子層~不同聲頻~平面會產生曼陀羅圖驣~邊鍍膜~上放氣體原子移動狀態~聲頻控制
在大氣層鍍膜有可能嗎？降低暖化？
有類似的倡議，平流層噴霧法
有個疑問，粒子如果有時空彎曲的疊加態，則一個平行移動的向量會同時受到多個不同時空彎曲的影響，粒子的自旋貌似也能視作一種向量，而我們能夠證明粒子同時通過兩條路徑，則是不是能讓粒子同時通過兩個不同區域的時空彎曲，最終知道同時經過不同時空彎曲的影響是什麼了嗎，可我覺得微觀粒子的時空彎曲效應好像與宏觀上的時空彎曲疊加效應相關性太低了
3:58到4:03提到"二氧化矽, 碳化矽, 氮化矽這些半導體材料"，碳化矽SiC是半導體，而二氧化矽SiOx與氮化矽SiNx是絕緣體。
超乎想象的非正常科技，原子层没有分子的连带结构怎么单独存在？
如果鍍膜可以鍍出圓形多層可模擬出地球，那麼就可能開發模擬太陽核，開發超微形核融合技術。
想看電漿蝕刻製程相關的資訊，謝謝
ALD不是已經用好幾年了?
鍍膜可以放在皮膚上,很強啊.原來這就是未來外星人的金屬外衣.但是這樣做可能會引發過敏,或金屬材料中毒ㄟ😃11:29
抱歉製程上的物理和化學都是弱項，但想請問的是，ASM這家公司，和大家比較熟知的ASML，有什麼關係嗎？請知道的網友賜教，謝謝！
ASM算是ASML的父母吧😂，還有一個ASMP
ASM把ASML踢出去
應該很後悔
@@txou4998 從結果來說對雙方都是好事，畢竟業務範圍差太多了。如果強行整合搞不好會大家一起殞落。
另一方面雖然是ASM家族的，但ASML其實跟phillip的關係更近一些
ASML 原意就是ASM lithography
看不懂😂，我的想法是就算我做不出10耐米，我可以做100耐米，只是產品比較大但是我做很多100耐米10個組合起來，功能會ㄧ樣嗎？
請問有沒有關於這類的Paper連結呢?有點有趣
謝謝您提供的資訊。
應該明確一件事. 實驗室中的內容和 HVM 製造中實際使用的內容有很大不同。成本和良率是一些主要因素，對於 HVM 製造極為重要，但對實驗室來說可能不是那麼大的問題。很多年前在學校時，已經使用ebeam來生長薄膜，但是...😅😅😅
ASM 通常是針對 HVM，不像一些大學實驗室。想知道這項技術有多成熟（現在已經可以使用？一年內就可以...）以及與台積電今天使用的技術相比成本是多少。
A，不過皮膚這種東西你鍍膜上去後還能吸收太陽給的維生素D嗎？
還得透光
最近讀到報導 關於最新的風力渦輪機 極有可能取代太陽能發電 可以說說關於這個嗎？
是這集有提到的嗎？ruclips.net/video/k-_JrzoKSlU/видео.html
就我所知ALD除了ASM之外還有TEL在競爭。不知道ASM的優勢在哪讓他能在這市場占有一席之地
AMAT也有
ald一大堆厂家在做，中国可能都有接近20家，技术门槛没那么高
做精还是难的@@eulaliamoore4623
@@eulaliamoore4623 你能穩定出貨，並且快速debug，還有填洞效果也要好再說吧
ALD就是ASM發明的，名字也是他取的，優勢就是經驗累積，跟台積電為什麼優勢是一樣的，大家都蓋晶圓廠，只有台積電的晶圓廠能滿足客戶需求
沒想到竟然能在泛科學看到前東家 ASM ...不過當年那時候只有 CVD 部門還沒有 ALD
🎯 Key points for quick navigation:
00:01 *🔬 Introduction to Semiconductor Fabrication*
- Explains the complexity and challenges of making small, powerful chips,
- Highlights the importance of a good base in semiconductor manufacturing,
- Introduces ALD (Atomic Layer Deposition) as a key thin film deposition technique.
03:03 *⚗️ Thin Film Deposition Methods*
- Overview of physical and chemical deposition techniques,
- CVD (Chemical Vapor Deposition) is common in semiconductor processes,
- CVD's impact on material properties through subtle changes in conditions.
06:36 *🎯 ALD: Precision in Thin Films*
- Introduction of ALD as an improved version of CVD,
- Describes ALD's self-limiting process for uniform thin films,
- Provides an example with zinc oxide coating to explain ALD operations.
09:06 *🏆 Pioneers in ALD Technology*
- ASM's role as a leading semiconductor equipment manufacturer,
- ASM's contributions to advancing ALD technology,
- Notable ASM innovation with their Pulsar ALD product.
09:34 *⚡ Plasma-Enhanced ALD Technique*
- Explanation of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD),
- PEALD uses plasma to ionize gases, enhancing the reaction rate of precursors,
- Lower reaction temperatures, faster reaction speeds, and broader process applications.
10:32 *📈 Semiconductor Industry Insights*
- Invitation for further inquiries and suggestions on semiconductor topics,
- ASM's upcoming participation in SEMICON Taiwan for industry trends,
- Engaging viewers with thought-provoking questions about thin film applications.
Made with HARPA AI
1奈米之後的手機或電腦會是什麼境界？
ALD對GAA 的Gate insulator & 環繞的METAL GATE 製程很重要
腦機介面鍍膜？ 血管防堵塞鍍膜？ 視力矯正鍍膜？
3:28 這裡的物理氣相沉積是甚麼????
自我侷限現象怎麼聽起來超像 steric effect 😂
(感覺ALD超像我在實驗室在把矽晶圓LOADING要的載體的過程.....真的超難一直失敗😢😢😢）
需要加矽電容嗎？
這個說明還是比半導體大學的講師有系統專業
這個技術可用在戰機匿蹤鍍膜上，原子級的稀土元素更薄更耐久，希望國防部能試試。
科普到這麼哈扣題才真的是辛苦了
鍍膜式保險套有沒有搞頭?
感覺跟酵素免疫法好像，抗原+1抗+2抗...一直結合下去
ALD適合長超薄的材料，例如超薄的通道、超薄的閘極氧化層、超薄的金屬層，這項技術能很好的長出高品質的薄膜、能精準控制超薄材料的厚度、能長在複雜的表面上、大面積均勻性也好。它的缺點是長的慢，也屬於比較高級的機台，只有較為先進的半導體工廠才會有。
製成越來越薄，要防範電子穿梭不就更難嗎?
所以才要用GAA
要提升密度 就會延伸出更多問題
完全沒聽懂，但覺得很酷
很簡單吧😊
先來按讚 避免人家知道我聽不懂!!
不過那個洗杯子的例子真的厲害了
經過解釋之後,稍微有點概念了
看完了 ~跟我想得差不多
所以........要買哪一支股票?
我最想要用來做汽車鍍膜，可以改善風阻，最好可以耐用，一輩子都不用洗車⋯這個比較適合普羅大眾吧！
😂😂
下一個想聽黃光在半導體到底是做什麼用的~~
為了避免光阻劑過曝或提前曝光
想聽抽真空與鍍膜相關係原理
超棒的科學說明影片❤
話說 ASM 跟 ASML 也太像了
而且領域還這麼集中，業內溝通不會不小心搞錯嗎😂
這兩家很久以前是有關係的
想聽各種氣體在半導體的應用
製程增加，感覺成本會飆升，而且製程越多越容易出錯
Skytech的ald能一戰嗎？
想瞭解光刻膠
影片裡提到的光阻劑就是你所謂的光刻膠，你可以重看一次
順便提光刻機是中國用語，台灣用語叫曝光機
光組的製程有上百道 很難講
好棒的說明
下次可以介紹CD-SEM嗎
說的好清楚
請教我怎麼用手搓7奈米
如果可以做出1nm鍍膜跟生技產業與醫藥合作，用鍍膜的方式加速皮膚吸收，例如具有抗氧化成分的化妝品👍
壘和磊是不是有區別？ 感覺從場景來看是“壘”這個動作。
翻譯是叫磊晶ㄛ
@@elijah5548 原來如此。找到維基百科上的詞條了：磊晶（英語：Epitaxy），是指一種用於半導體元件製造過程中，在原有晶片上長出新結晶以製成新半導體層的技術。此技術又稱磊晶成長（Epitaxial Growth）
能鍍成360度的光子晶體, 變成隱身衣嗎 ......
講得很好!
懷念以前大學上微奈米製程
ULSI 製程....ato 級積體電路沈積及相關課啊...！
Defect都是蝕刻造成的 蝕刻才是關鍵 不過ALD也是很厲害啦~哈
反熱能與紅外光鍍膜。軍事領域很需要~
ALD跟先進封裝一樣，以前CP值不夠高，加上沒有必須用這麼高成本，低產能的製程生產，現在就需要了。
講的好清楚!!!
謝謝支持
Asm?Ashley?..?
請允許我分享轉貼這個影片，我每天在這間公司上班也沒辦法了解這麼多，👍
謝謝，歡迎
講得很清楚 但是沒有很深入
應該比較適合 半導體業外人(其實也是大部分的人) 吸收
算是很好的科普
期待講一下 選擇性沉積 (selective deposition)
這道製程 一定程度上可以取代EUV曝光需求
好的
Selective deposition還有段路吧，一年前我跟人交流得到的資訊是還沒辦法解決residue很嚴重的問題。不確定現在如何了
感谢您的分享！
不會學石墨烯那樣用膠帶吧？
今年8月初在芬蘭赫爾辛基舉辦2024 ALD/ALE conference 時，ASM副總裁Dr. Ivo Raaijmakers 就有提出未來ALD設備需求只會越來越高，所以ASM股票還不買爆😏😏
那問題來了, 1納米的境界達到後人類就是極限?
Veey detailed presentation. Thank u
謝謝😊說的很明白聽的很清楚雖然都不懂😅
講得超清楚!! 雖然我不是理工人聽不懂 XD
雖然我不是魏哲家，但是這聽起來很酷吧！😂
什麼是 長出厚度 是會像晶體結構那樣還是堆積而成的？ 原子沉積 是什麼是像水中沉積物那樣還是如何形成之類的？
任何材料鍍膜？那應該把光鍍在衣服上這樣夜晚就不會被車撞了，不能穿時還能作為發電原料
奈米3D列印晶片可行嗎🤣