[기초반도체공정|1.3]

반도체 공정중 발생할 수 있는 오염원들(contamination)에 대해 알아보고, 클린룸(cleanroom)에 대한 기본 상식을 배워봅니다.

[@gogigogi5333]

좋은 영상 감사합니다 오늘도 잘 보고 가요~

[@문서연-x6w]

사람은 정말로 백해무익하다고 배웠습니다. 😂 좋은 강의 감사합니다 교수님!

[@이성혁-i1w]

아 ㅋㅋㅋ 교수님 해시태그 센스쟁이!

[@재꾸래기]

공정연구 진행하는 학생인데 좋은 영상 감사합니다~

[@김주영-d7s]

좋은 강의 감사합니다 😊😊😊

[@ummm8834]

안녕하세요 교수님!
실제 대학교 실험실 같은곳에서 Wafer 캐리어(Shipping box)에 공정이 다 끝나고 소자가 형성된 Wafer를 거의 2달씩 장기간 넣어 Cleanroom에 보관한다면, 이후에 장비로 C-V 커브나 I-V 커브 측정시 보통 큰 문제는 안되는건가요?
클린룸 강의를 듣다보니 궁금증이 생겨 문의드립니다.
늘 좋은 강의로 도움주셔서 감사합니다.

[@DevicePhysics]

어떤 물질이나 구조로 만든 소자이냐에 따라 다릅니다. 공기중의 산소와 반응하는 물질을 사용했다면, 클린룸에 있는 동안에도 소자의 특성이 변할수 있습니다. 이런 경우, 보통 passivation layer를 추가로 증착해서 산소와의 반응을 막아줍니다.

[@judehey2298]

혹시 강의록은 없나요...?

[@DevicePhysics]

수강생들에게만 제공하고 있습니다.