[반도체엔지니어 아카데미] CVD HDP공정은 왜 복잡한 ICP 방식을 사용할까?

안녕하세요 . ICP 방식의 필요성에 알아보기 위해 HDP 공정에 대해 간단하게 알아보는 내용입니다.
자료출처 : Dielectric 플라즈마 에처 및 고밀도 플라즈마 CVD 장비개발.(신태호 저술 : 세메스(주),
www.cheric.org...
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[@보노보노-f1v]

최고에요!

[@hr2517]

09:05 DC 극성을 집어넣는게 아니라고 생각합니다. 집어넣는다는 표현은 DC Power를 인가한다는 말로 들리는데요, 그게 아니고 억지로 만드는거죠. Chamber Body와 연결하느냐 안하느냐에 따라서 전극의 크기를 키우냐 마냐, RF Matcher에 Blocking Cap 을 달아서 DC는 통과를 못하게 원리로 Self-Bias 로 인한 DC Volt를 억지로 만드는겁니다. 취준생들이 많이 볼텐데 쉽게 말씀해주시는건 좋으나, 정확히 말씀해주셔야 할 것 같네요. 면접관한테 저렇게 말하면 대답 안하느니만 못할 것 같습니다.

[@dkrltjdwk]

후공정 영상도 부탁드립니당