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PR Strip 用dry etch的方法只局限於Si base或是不容易被氧化材料。 如果底下材料是會被氧化的東西可能還是要泡丙酮、IPA之類有機溶劑。另外Dry etch做PR Strip通常可以跟上一道製程腔體放在一起,通常也是ecth,透過中間也是真空的傳送腔體輸送至製程腔體。
谢谢补充细节
PR Strip 用dry etch的方法只局限於Si base或是不容易被氧化材料。 如果底下材料是會被氧化的東西可能還是要泡丙酮、IPA之類有機溶劑。
另外Dry etch做PR Strip通常可以跟上一道製程腔體放在一起,通常也是ecth,透過中間也是真空的傳送腔體輸送至製程腔體。
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