얼라이먼트 스테이지 (Alignment Stage) TAN Serise

🚩 얼라이먼트 스테이지 (Alignment Stage) TAN Serise
• 직선과 회전 운동이 가능한 초박형 스테이지
• 직선 2축과 회전 운동을 동시에 구현 가능
• 고정도 및 고강성 구조
• 고강성 크로스 롤러 베어링 및 LM가이드 적용
• 백래쉬, 유격 발생 최소화
• 흔들림 방지 기술 적용
적용 사례
• 반도체 제조장비 및 검사 장치
• 프린트 기판 제조장비 및 검사 장치
• 액정 패널 제조장비 밑 검사 장치
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