SiCウェハの作り方(続編) 週刊パワエレ・ダイジェスト(Vol.32 2022.10.20)

[@やつお-i1i]

ウエハの製造現場に転職した文系です。
SiCのエピタキシャル成膜で何をしているかが知りたくて見させてもらいました。
解説がわかりやすく、基礎知識がない私でも理解できたことが多かったです。
勉強になる動画投稿ありがとうございますっ！

[@SiC-PowerSemiconductor]

ご視聴ありがとうございました。お役に立ててよかったです。

[@engineermaschine8803]

動画ありがとうございます！
SiCエピタキシャル成長について、詳しく勉強したいのですが、参考になる書物があれば、教えて頂きたいです。
宜しくお願い致します。

[@SiC-PowerSemiconductor]

返信めちゃ遅ですみません。「半導体SiC技術と応用」古いですが、まとまっています。書籍だと、たぶんこれしかないかもしれません。視聴者の方で、他にありましたらコメント下さるとありがたいです。