薄膜評価セミナー「逆格子マップによるエピタキシャル薄膜の評価」

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  • Опубликовано: 26 авг 2024
  • ＜セミナーの内容＞
    ・XRDを用いたエピタキシャル薄膜の評価
    ・逆格子マップにより得られる情報
    ・1次元、2次元検出器を用いた逆格子マップの高速測定とその特徴

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