(전국최초) 로봇팔로 웨이퍼 이송하기 실습(로봇 티칭)

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  • Опубликовано: 9 фев 2025
  • 오산대학교 반도체장비과
    EFEM에서 웨이퍼 로드락(Load Lock)으로 이송 실습
    제작 : 이민성, 박찬서

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