반도체8대공정:증착3. CVD 공정과정 대강설명. 남이 알려주면 쉬운 반도체 공정

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  • Опубликовано: 2 янв 2025
  • 11:29 부터 요약입니다.
    CVD만 이렇게 세세하게 하면 PVD가 삐질거같아요. 특히 플라즈마 관련으로는 영상을 좀 더 찍어야 하는지... 고민이 많이 되네요!

Комментарии • 43

  • @jml6041
    @jml6041 4 года назад +8

    레이놀즈 수 말할때 레이놀즈가 작을수록 라미날 플로우가되서 레이놀즈가 작으려면 점도가 낮아야된다고 하셨는데
    반대로 점도가 커져야 하는거아닌가요??

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад +4

      아이고 지적 감사드립니다..!! JM L님 말대로 점도가 높아져야 합니다. 따라서 LPCVD 같은 저압 고온 공정에서는 압력을 정말 세심하게 컨트롤해줘야 모든 부분에서 라미나 하게 흘러가게 됩니다.
      7:17 에 점도 설명을 잘못드렸습니다! 고정해드릴게요 정말 감사합니다!! : )

  • @지오공-p5q
    @지오공-p5q 7 месяцев назад

    초경코팅공구는 WC가 substrate이고 거기에 TiN, TiALN, TiCN등으로 CVD나 PVD로 코팅을 합니다.

  • @정용석-o8h
    @정용석-o8h 2 года назад +1

    3:10 Al Line 을 만들 때 CVD, Epitaxial 을 이용하나요?? (궁금해서 물어보는겁니다. 저는 Sputtering 으로 알고있는데 아니면 죄송요)

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  2 года назад

      에피텍셜은 아닐겁니다. 같은 결합방식이 아니니 에피는 안되겠죠. Cvd는 가능할겁니다만, 저도 스퍼터가 많이 있다고 알아요.

  • @민트초코조아요
    @민트초코조아요 3 года назад

    엔지닉 책보면서 이거보니까 완전 정리잘돼요. 카테고리 업뎃 계속 해주세요!

  • @허진욱-o5j
    @허진욱-o5j 4 года назад +5

    5:56 시원하다

  • @brandonlee253
    @brandonlee253 5 лет назад

    오늘도 일때매 늦었지만 1일1영상 합니다ㅋㅋ 너무 유익한 영상 감사합니다.

  • @태그-f7x
    @태그-f7x 5 лет назад

    남알남님 요즘 영상 업로드 속도 장난아니시네요 인강보다 더 좋아요 ㅋㅋㅋ다른공정도 부탁드립니다!

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  5 лет назад

      시험이 끝나 여유로운 시기가 찾아왔습니다 ㅎㅎ
      언제 다시 더뎌질지 몰라요~ㅋㅋㅋㅋ

  • @syoon1115
    @syoon1115 4 года назад

    점도가 가스점도인가요 재료의점도인가요? 점도를 높게하는 방법은 뭔가요? CVD 처음하는 대학생이라 잘모릅니다 ㅜㅜ 영상 넘 감사합니다

  • @Lucky-xn9vj
    @Lucky-xn9vj 3 года назад +1

    안녕하세요 , 반도체 집적회로에 있어서 박막공정이 가지는 중요성은 어떤게 있나요? 예를들어서 박막공정에서의 결함이 회로에 어떤 영향을 끼치는지 구체적으로 궁금합니다..!

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  3 года назад

      음 ~ 간단한 예시로, 캐퍼시터 박막공정에 결함이 발생하면 도선이 됩니다?

    • @nonghyeongyudojeondonggi
      @nonghyeongyudojeondonggi 6 месяцев назад

      ​@@namrnam5413 절연이 잘 안돼서일까요?

  • @YOOND
    @YOOND 2 года назад

    이번 CVD 챔버 설계하기로 했는데 아는게없어서 현장다니며 왔다갔다 배우고있습니다 ㅠㅠㅠ
    20대중후반인데 할수있을까요 팀장님이 시키려하시는데 무섭네요

  • @WMMoMo
    @WMMoMo 4 года назад

    안녕하십니까! 이번 반도체 프리커서 회사에 면접 기회가 생겨서 전구체에 대해 공부하려하는데 반도체에 대한 지식이 부족해서 걱정이네요ㅠㅠ

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад

      제가 그런 디테일한 회사지식은 많지않아서 도움이 될지모르겠네요..!

  • @허태규-f4p
    @허태규-f4p 4 года назад

    남알남님 안녕하세요!
    궁금한게 한가지가 있어서요. 혹시 epitaxial growth를 할 때는 byproduct가 만들어지나요 ? 예를들어 Si 위에 Ge를 성장시킨다하는 경우에요. 그리고 부산물이 생성되는 건 어떤 경우인지 궁금해요!

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад

      아마 생길거에요, Ge가 그냥 땅에서 솟는게 아니다보니, 어떤 화합물의 형태로CVD를 할거같고, 그럼 그에 따른 반응후 생성물 가스가 나올거같네요!

  • @메로나-u2y
    @메로나-u2y 4 года назад

    형! 혹시 CVD 공정에 사용하는 가스에 대해서 설명해주실 수 있나요? Ar O2 He 정도,,

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад

      카톡으로 답변드렸습니다 : )

  • @seungwonmoon2356
    @seungwonmoon2356 4 года назад

    남알남님 질문있습니다! CVD에서 압력이 높으면 VOID가 생길 가능성이 있는데 압력이 낮아도 VOID가 생기나요??

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад +1

      민프리패스가 스텝보다 커지면 보이드가 생기기 쉽습니다 .

    • @Jhparkrighthere
      @Jhparkrighthere 4 года назад +1

      @@namrnam5413 작아지면 아닌가요??

    • @hongjs6267
      @hongjs6267 4 года назад

      @@Jhparkrighthere 그런 것 같습니당

  • @하하히-w2b
    @하하히-w2b 3 года назад

    한가지 궁금한게있는데 cvd에서 mfc를 사용하면서 정밀하게 유량을 제어 해야되는 이유가뭔지 알려주실수있나요ㅜ

    • @몰라도1
      @몰라도1 2 года назад

      캐리어 가스를 소스에 얼마만큼 들어가서 소스에 묻어서 반대쪽으로 나오는데 유량이 많이 들어가면 기판에 더많이 증착 되기 때문

  • @shdhdhdhdj
    @shdhdhdhdj 3 года назад

    안녕하세요? 궁금한게 있는데 cvd는 코팅인데 이게 코팅 수명이 얼마나 갈까요? 결국 벗겨지는거 아닌가요?

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  3 года назад

      코팅을 어떻게 정의해야할지 모르겠네요..? 일단 도금보단 오래갈겁니다. 결합력의 급이 다르니까요.
      사실 CVD보다 오래 갈 계면접합을 상상하기가 어렵네요...

    • @shdhdhdhdj
      @shdhdhdhdj 3 года назад

      @@namrnam5413 친절한 답변 감사드립니다. 한 가지 더 여쭤봐도 될까요? 그렇다면 웨이퍼에 cvd를 하는 이유가 무엇인지 궁금합니다. 내구성을 높이기 위해서인가요?

  • @jungakim2002
    @jungakim2002 4 года назад

    안녕하세요.유기합성을 전공하고 디스플레이 분야에서 연구하고 있는 직장인입니다. 반도체에 관심을 갖고 공부를 하다가 선생님께서 초보자도 이해하기 쉽게 설명해주셔서 열심히 메모하며 듣고 있어요.
    강의를 듣다 문득 CVD전구체는 어떻게 합성을 하고 합성된 물질이 원하는 물질로 잘합성이 되었는지 확인하는 분석법이나 (유기합성의 경우 거의 NMR과 Mass를 통해 확인하는데), 또한 말씀하신 휘발성,상온안정성등등의 신뢰성은 어떤 분석법으로 확인하는지 궁금해서요.
    유기합성만 하다보니 무기합성에 대한 지식은 전무해서^^;;;
    유튜브 통한 강연 너무 감사합니다.

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад

      전구체를 만드는 방법이 궁금하신건가요? 아니면 전구체를 이용하여 만든 필름이 잘 합성되었는지를 확인하는건가요?
      상온안정성 등은 나쁠수 있죠... Al2O3를 만드는 대표적인 전구체로 TMA가 있는데 상온에서 공기중에 누출되면 폭발하거든요 : )

    • @jungakim2002
      @jungakim2002 4 года назад

      @@namrnam5413 오~^^신기해요.유튜브에 글남긴건 처음인데 답을 주셔서~전구체 합성하는 방법이 궁금해요.어떻게 만드는지 ...그리고 잘 만들어졌는지 검증하는 방법도 궁금하구요.

    • @parkkeechan
      @parkkeechan 4 года назад

      Al을 CVD로 증착하는 경우는 흔치 않은데 TMA로 ALD 실험을 하시나 봅니다. 표준 반도체 공정에서 배선용 순수 Al은 PVD로 증착하는 경우가 대부분임을 언급하시면 좋을 듯합니다.

  • @kookish9744
    @kookish9744 2 года назад

    왜 박막공학 2학년 수압 들을때랑 다르지 ㅋㅋㅋㅋㅋㅋㅋ 대학교가 어디세요???

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  2 года назад

      제 학교는 박막공학은 3학년 대상 수업이었고, 이 수업 내용은 반도체 공정 수업입니다. 마찬가지로 3학년 대상이구요.

    • @kookish9744
      @kookish9744 2 года назад

      정주행중이에영

    • @kookish9744
      @kookish9744 2 года назад

      정주행중이에영

    • @kookish9744
      @kookish9744 2 года назад

      정주행중이에영

  • @wlstn3697
    @wlstn3697 4 года назад

    수행평가 참고용으로 보고싶었는데 대학생용이네요;;;

    • @namrnam5413
      @namrnam5413  4 года назад

      궁금한점은 저의 개인 톡으로 주시면 이야기할수 있어요. 고등학생분들도 관심이 많아보이시네요 : )