Grundlagen der optischen Topografiemessung

Grundlage der Topografiemessung ist die so genannte Weißlicht-Interferometrie. Das Messverfahren basiert auf dem Prinzip des Michelson-Interferometers. Es scannt die Oberflächenhöhe der Probe. Dazu wird an einem Strahlteiler der Lichtstrahl aus einer Weißlichtquelle in zwei Teilstrahlen zerlegt. Der Referenzstrahl wird von einem Spiegel reflektiert, während der Messstrahl auf die Probe trifft. Wenn sich der Abstand zwischen Probe und Interferometer verändert, tritt eine optische Interferenz an jedem Punkt der Oberfläche auf, für den der optische Weg des Messstrahls mit dem des Referenzstrahls übereinstimmt.
Im Lauf des Scanvorgangs werden die Interferenzmuster von der Videokamera aufgenommen und von der Software in Topographiedaten umgerechnet.
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[@nightmareaka6424]

Ihr habt mein Messlaborpraktikums versuch gerettet :D Danke